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中科院团队成功突破光量子芯片核心技术
EUV光刻机三大关键技术国内已经突破,国产EUV光刻机还有多远?虽然中国在EUV光刻机的关键技术上已经取得了突破,但是要实现大规模生产和应用还需要克服一些困难和挑战。首先,EUV光...
2023-05-26
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